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申请/专利权人：洛克利光子有限公司
摘要：一种光电子装置100。所述装置100包括：绝缘体上硅SOI晶片120，所述SOI晶片包括空腔126和输入波导116，所述输入波导116光学地耦合到所述空腔126中；以及镜110，所述镜位于所述空腔126内并且接合128到所述空腔的底床，所述镜110包括反射器114，所述反射器被配置成反射从所述SOI晶片120中的所述输入波导116接收到的光124。
主权项：1.一种光电子装置，所述光电子装置包括：绝缘体上硅SOI晶片，所述SOI晶片包括空腔和输入波导，所述输入波导光学地耦合到所述空腔中；镜，所述镜位于所述空腔内并且接合到所述空腔的底床，所述镜包括反射器，所述反射器被配置成反射从所述SOI晶片中的所述输入波导接收到的光；以及对准脊形突起，其从所述空腔的所述底床突出并且在平面视图中与所述镜重叠。
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权利要求：
百度查询： 洛克利光子有限公司 光电子装置及其制造方法
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