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一种旋转式水冷阻蒸盘 

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申请/专利权人:成都兴南真科科技有限责任公司

摘要:一种旋转式水冷阻蒸盘,包括盘体和水道。盘体上端面的外侧呈圆周阵列地开设有n个安装座,安装座包括两个安装孔,分别用于连接真空镀膜机的分电极的进水孔和出水孔。水道开设于盘体内,包括n‑1个边道,以及进水道和出水道,第一个安装座的一个安装孔下端与进水道的末端连通,另一个安装孔下端连通于与末端相对的边道的一端,第二个安装座的一个安装孔下端与出水道的始端连通,另一个安装孔下端连通于与始端相对的边道的一端,每两个相邻边道的相对端分别与剩余安装座的两个安装孔下端连通,进水道另一端设有贯穿盘体底部的进水口,出水道另一端设有贯穿盘体底部的出水口。该实用新型结构简单,通过一条水道即可对旋转阻蒸机构整体进行冷却。

主权项:1.一种旋转式水冷阻蒸盘,其特征在于,包括:盘体(1),其上端面的外侧呈圆周阵列地开设有n个安装座(11),安装座(11)包括两个安装孔(12),分别用于连接真空镀膜机的分电极(3)的进水孔和出水孔;水道,开设于盘体(1)内,包括n-1个呈圆周阵列设置的边道(21),以及位于边道(21)内侧的进水道(22)和出水道(25),第一个安装座(11)的一个安装孔(12)下端与进水道(22)的末端(23)连通,另一个安装孔(12)下端连通于与末端(23)相对的边道(21)的一端,第二个安装座(11)的一个安装孔(12)下端与出水道(25)的始端(26)连通,另一个安装孔(12)下端连通于与始端(26)相对的边道(21)的一端,每两个相邻边道(21)的相对端分别与剩余n-2个安装座(11)的两个安装孔(12)下端连通,进水道(22)另一端设有贯穿盘体(1)底部的进水口(24),出水道(25)另一端设有贯穿盘体(1)底部的出水口(27)。

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