龙图腾网&IPTOP
- 微信扫码登录
- 账号密码登录
- 短信登录/注册
买专利卖专利找龙图腾，真高效！ 查专利查商标用IPTOP,全免费！专利年费监控用IP管家,真方便！
申请/专利权人：上海芯立电子科技有限公司
摘要：本实用新型提供一种晶圆退火炉，涉及退火炉技术领域，包括退火炉，所述退火炉的内侧顶部对称设置有发热管，所述退火炉的内侧底部设置有制冷管，所述退火炉的侧面安装有清洁舱，所述清洁舱的正面活动安装有外舱门，所述清洁舱的内侧顶部安装有气动升降柱。本实用新型通过清洁舱方便了在晶圆退火前，可以提供有效的清洁处理，通过外舱门方便了在清洁时提供封闭处理，通过气动升降柱控制抛光机进行升降调节，抛光机驱动抛光盘进行转动对晶圆进行抛光处理，有效地将污垢和氧化物进行清洁处理，通过限位块对圆晶托盘进行限位，有利于在打磨抛光时提高稳定性，通过内舱门可以在背面提供封堵处理，进而保证了退火效果，提高了质量。
主权项：1.一种晶圆退火炉，包括退火炉1，其特征在于：所述退火炉1的内侧顶部对称设置有发热管16，所述退火炉1的内侧底部设置有制冷管18，所述退火炉1的侧面安装有清洁舱2，所述清洁舱2的正面活动安装有外舱门3，所述清洁舱2的内侧顶部安装有气动升降柱4，所述气动升降柱4的底部安装有抛光机5，所述抛光机5的底部安装有抛光盘6，所述清洁舱2的内侧底部安装有限位块7，所述限位块7的内侧设置有圆晶托盘8，所述圆晶托盘8设置在抛光盘6的下方，所述清洁舱2的背面活动安装有内舱门9。
全文数据：
权利要求：
百度查询： 上海芯立电子科技有限公司 一种晶圆退火炉
免责声明
1、本报告根据公开、合法渠道获得相关数据和信息，力求客观、公正，但并不保证数据的最终完整性和准确性。
2、报告中的分析和结论仅反映本公司于发布本报告当日的职业理解，仅供参考使用，不能作为本公司承担任何法律责任的依据或者凭证。
主营中国专利交易买卖与专利转让许可,高校科技成果推广与科技成果转化,知识产权运营管理与平台开发,科技人才专家库与科技猎头等科技服务
开放平台
担保交易
惠及多方
会员特惠
专属平台
适合多方
数据共享
功能齐全
皖公网安备 34010402703815号