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申请/专利权人：隆基绿能科技股份有限公司
摘要：本实用新型公开一种掩膜版的固定装置及掩膜版的加工设备，涉及图案加工技术领域。掩膜版的固定装置包括承载台，承载台的承载面包括第一区域和第三区域，第三区域包围第一区域和第二区域，承载面上开设有让位槽，第一区域与第三区域的分界线下方设有让位槽，第二区域设有让位槽，第二区域的边缘位于让位槽的槽口内部或第二区域的边缘与让位槽的槽口边缘重合；承载台包括吸附机构，吸附机构的吸附口位于承载台的承载面；和或，该掩膜版的固定装置还包括能够压紧承载面的压紧组件。采用上述固定装置对原膜进行固定，利用激光划刻时，激光划刻路径的下方是让位槽，可以防止激光透过原膜时烧蚀承载台表面。
主权项：1.一种掩膜版的固定装置，其特征在于，包括：承载台，所述承载台的承载面包括第一区域、第二区域和第三区域，所述第三区域包围第一区域和第二区域，所述承载面上开设有让位槽，所述第一区域与第三区域的分界线下方设有所述让位槽，所述第二区域设有所述让位槽，所述第二区域的边缘位于让位槽的槽口内部或所述第二区域的边缘与让位槽的槽口边缘重合；所述承载台包括吸附机构，所述吸附机构的吸附口位于所述承载台的承载面；和或，该掩膜版的固定装置还包括能够压紧所述承载面的压紧组件。
全文数据：
权利要求：
百度查询： 隆基绿能科技股份有限公司 掩膜版的固定装置及掩膜版的加工设备
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