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申请/专利权人：苏州美芝恩电子科技有限公司
摘要：本实用新型涉及电子束蒸镀技术领域，尤其涉及一种便于控制的修正板机构，其技术方案包括板把手和箱体，所述箱体的内部安装有气缸，所述气缸的内部安装有滑动塞，所述滑动塞的一侧安装有伸缩杆，所述伸缩杆远离滑动塞的一侧安装有第一转动轴，所述板把手的一端安装有板柄，所述板柄的两侧安装有修正板片，所述气缸的一侧安装有第一进气管，所述气缸远离第一进气管的一侧安装有第二进气管。本实用新型通过在设计一种可以转动的修正板，可以实现在真空室内部进行转动，以此来方便调节遮挡的位置，同时可以在更换基板或坩埚时，进行转动，由于内部空间有限，可以防止修正板对工作人员的操作造成不便，可以提升更换基板或坩埚的工作效率。
主权项：1.一种便于控制的修正板机构，包括板把手3和箱体13，其特征在于：所述箱体13的内部安装有气缸8，所述气缸8的内部安装有滑动塞7，所述滑动塞7的一侧安装有伸缩杆6，所述伸缩杆6远离滑动塞7的一侧安装有第一转动轴15，所述板把手3的一端安装有板柄2，所述板柄2的两侧安装有修正板片1，所述气缸8的一侧安装有第一进气管9，所述气缸8远离第一进气管9的一侧安装有第二进气管10，所述箱体13的底部两侧安装有固定座14。
全文数据：
权利要求：
百度查询： 苏州美芝恩电子科技有限公司 一种便于控制的修正板机构
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