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申请/专利权人：深圳市蒙威智能科技有限公司
摘要：本实用新型涉及一种晶圆下片机，包括机台，所述机台上包括：取料装置，包括旋转机构和吸料机构，所述旋转机构连接有旋转驱动件，所述吸料机构与旋转机构连接，在旋转机构的带动下进行旋转；定位剥离装置，所述定位剥离装置包括定位机构、固定架和吸片机构，所述定位机构包括定位相机和检测相机，所述固定架一侧连接有驱动固定架进行平移运动的平移驱动件，所述固定架下方设有顶升组件，所述吸片结构包括吸片横杆和吸片驱动件，所述吸片横杆的一端与所述吸片驱动件的驱动端相连，另一端设有用于吸取晶圆的真空吸孔。本实用新型与现有技术相比，具有效率高，对料盘适用性强等优点。
主权项：1.一种晶圆下片机，用于剥离和收集晶圆料盘上的晶圆，包括机台，其特征在于，所述机台上包括：取料装置，包括旋转机构和吸料机构，所述旋转机构连接有旋转驱动件，所述吸料机构至少设置有一个，所述吸料机构与旋转机构连接，在旋转机构的带动下进行旋转；定位剥离装置，与所述取料装置相邻设置，所述定位剥离装置包括定位机构、固定架和吸片机构，所述定位机构包括定位相机和检测相机，所述定位相机位于固定架上方，所述检测相机位于定位相机和固定架之间，所述固定架一侧连接有驱动固定架进行平移运动的平移驱动件，所述固定架下方设有顶升组件，所述吸片机构包括吸片横杆和吸片驱动件，所述吸片横杆的一端与所述吸片驱动件的驱动端相连，另一端设有用于吸取晶圆的真空吸孔。
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百度查询： 深圳市蒙威智能科技有限公司 一种晶圆下片机
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