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申请/专利权人：上海光键半导体设备有限公司
摘要：本实用新型涉及半导体制造技术领域，提供了一种用于激光辅助键合的传输装置及激光辅助键合系统，所述传输装置，包括：运动单元和输送单元；所述输送单元升降的设置于所述运动单元；所述输送单元包括第一输送带、第二输送带和安装架，所述第一输送带和所述第二输送带平行的设置于所述安装架；所述第一输送带和所述第二输送带沿第一方向间隔排列设置。本实用新型中的传输装置可配备现有的激光辅助键合设备使用，用于将产品输送至激光辅助键合设备，并将键合后的产品输送至设备外，有助于提高产品输送效率。
主权项：1.一种用于激光辅助键合的传输装置，其特征在于，包括：运动单元和输送单元；所述输送单元升降的设置于所述运动单元；所述输送单元包括第一输送带、第二输送带和安装架，所述第一输送带和所述第二输送带平行的设置于所述安装架；所述第一输送带和所述第二输送带沿第一方向间隔排列设置；所述第一输送带和所述第二输送带沿第二方向输送，所述第一方向水平，且所述第一方向垂直于所述第二方向。
全文数据：
权利要求：
百度查询： 上海光键半导体设备有限公司 用于激光辅助键合的传输装置及激光辅助键合系统
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