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申请/专利权人：拓荆创益(沈阳)半导体设备有限公司
摘要：本实用新型涉及半导体制造技术领域，更具体的说，涉及一种流阻可调的抽气环结构。本实用新型提供了一种抽气环，至少包括抽气环基体和可调挡板：所述基体为空腔结构，中间部位设置有圆形通孔；所述圆形通孔，周向分布若干抽气孔；所述基体，设置有出气孔；所述可调挡板，设置在抽气孔与出气孔的气流路径上，由数个子挡板组成，数个子挡板的相对位置可调。本实用新型提出的抽气环，通过使用可调挡板，实现了对流阻的实时控制，进一步调节了流场的均匀性，可以更好地适应不同的应用场景和需求，从而提供更加稳定、可靠、高效的流场调节。
主权项：1.一种抽气环，其特征在于，至少包括抽气环基体和可调挡板：所述基体为空腔结构，中间部位设置有圆形通孔；所述圆形通孔，周向分布若干抽气孔；所述基体，设置有出气孔；所述可调挡板，设置在抽气孔与出气孔的气流路径上，由数个子挡板组成，数个子挡板的相对位置可调。
全文数据：
权利要求：
百度查询： 拓荆创益(沈阳)半导体设备有限公司 一种抽气环
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