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申请/专利权人：上海理工大学

摘要：本发明提供了一种太赫兹近场显微镜系统及滤除太赫兹近场显微镜中远场散射背景的方法，该系统包括：太赫兹发射源、第一空间滤波模块、分束镜、抛物面镜、探针散射模块、第二空间滤波模块、太赫兹探测器。第一空间滤波模块和第二空间滤波模块均包括两个太赫兹正透镜和一个通光孔径可调节的针孔光阑。第一空间滤波模块位于太赫兹发射源和分束镜之间，用于对太赫兹发射源辐射的太赫兹波进行空间滤波和准直。第二空间滤波模块位于太赫兹探测器和分束镜之间，用于对抛物面镜收集的散射太赫兹波进行空间滤波和准直。本发明解决了太赫兹近场显微镜中远场散射背景影响近场信号检测的问题，能够有效提高近场显微成像的信噪比和衬度。

主权项：1.一种太赫兹近场显微镜系统，其特征在于，包括：太赫兹发射源，用于辐射太赫兹波；第一空间滤波模块，用于对所述太赫兹发射源辐射的太赫兹波进行空间滤波和准直；分束镜，用于反射已准直的太赫兹波，所述第一空间滤波模块位于所述太赫兹发射源和所述分束镜之间；抛物面镜，用于聚焦所述分束镜反射的太赫兹波；探针散射模块，包含用于对所述抛物面镜反射的太赫兹波进行散射的纳米探针、用于承载所述纳米探针的探针悬臂梁、用于调整所述纳米探针的三维空间位置的探针夹和用于承载样品及调整样品的三维空间位置的样品台；所述抛物面镜还用于收集和准直所述纳米探针、所述探针悬臂梁、所述探针夹、样品散射的太赫兹波；所述分束镜还用于透射已准直的散射的太赫兹波；第二空间滤波模块，用于对透射的散射的太赫兹波进行空间滤波和准直，太赫兹探测器，用于接收散射的太赫兹波，所述第二空间滤波模块位于所述太赫兹探测器和所述分束镜之间；第一空间滤波模块和第二空间滤波模块均包括两个太赫兹正透镜和一个通光孔径可调节的针孔光阑；其中，所述太赫兹近场显微镜系统形成太赫兹近场显微镜的发射光路和探测光路，所述发射光路为所述太赫兹发射源辐射太赫兹波，通过所述第一空间滤波模块进行空间滤波和准直，准直后的太赫兹波经所述分束镜反射和所述抛物面镜聚焦，汇聚到所述纳米探针的位置；所述探测光路为被所述纳米探针、所述探针悬臂梁、所述探针夹、样品散射的太赫兹波由所述抛物面镜收集和准直，准直后的散射的太赫兹波透射过所述分束镜后，经过第二空间滤波模块进行空间滤波和准直时，通过设置所述第二空间滤波模块的针孔光阑的位置和通光孔径，使所述纳米探针散射的太赫兹波通过所述针孔光阑的通光孔，同时阻拦由所述探针悬臂梁、所述探针夹和所述样品散射的太赫兹波，实现对远场散射背景的有效滤除。

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