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申请/专利权人：钢研昊普科技有限公司
摘要：本发明涉及一种高均质钼铌合金靶材的制备方法，属于溅射靶材制造技术领域，解决了现有方法制备的钼铌合金靶材的成分均匀性差、致密度低的问题。包括：按Mo‑Nb合金的成分配比称取Mo粉和Nb的盐类化合物粉；将Nb的盐类化合物粉溶于无水乙醇中，加入Mo粉得到预合金浆料；将预合金浆料放入干燥喷粉机中进行干燥喷粉造粒得到Mo‑Nb的盐类化合物预合金粉末；将Mo‑Nb的盐类化合物预合金粉末在H2气氛下进行一步还原制备出Mo‑Nb合金粉末；将Mo‑Nb合金粉末装入包套中并且抽气封焊；将封焊后的包套放入热等静压炉中，进行热等静压处理；将热等静压处理后的钼铌合金靶材进行机加工，去除包套得到钼铌合金靶材。
主权项：1.一种高均质钼铌合金靶材的制备方法，其特征在于，包括以下步骤：步骤1、按Mo-Nb合金的成分配比称取Mo粉和Nb的盐类化合物粉；步骤2、将Nb的盐类化合物粉溶于无水乙醇中，加入Mo粉得到预合金浆料；步骤3、将预合金浆料放入干燥喷粉机中进行干燥喷粉造粒得到Mo-Nb的盐类化合物预合金粉末；步骤4、将Mo-Nb的盐类化合物预合金粉末在H2气氛下进行一步还原制备出Mo-Nb合金粉末；步骤5、将Mo-Nb合金粉末装入包套中并且抽气封焊；步骤6、将封焊后的包套放入热等静压炉中，进行热等静压处理；步骤7、将热等静压处理后的钼铌合金靶材进行机加工，去除包套得到钼铌合金靶材。
全文数据：
权利要求：
百度查询： 钢研昊普科技有限公司 一种高均质钼铌合金靶材的制备方法
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