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申请/专利权人：株式会社爱瑞思
摘要：本发明提供在使用包含过氧化氢的净化用雾对隔离器等操作室的内部进行净化时能够防止净化用雾的带电、并且能够防止对作为净化对象的操作室的内部的壁面的过度润湿、液体滴落的净化液以及使用该净化液的净化装置和净化方法。净化液包含溶解有使水溶液的电导率增加的物质的双氧水。该物质优选为电解质，更优选为无机盐或有机酸。另外，该净化液的电导率的值优选为14μScm以上。另外，净化液的蒸发残留物优选为30ppm以下。另外，净化装置和净化方法通过将该净化液以净化用雾形式释放到净化对象室的内部来对该净化对象室的内部进行净化。
主权项：1.一种净化液，其是在通过将净化液以净化用雾形式释放到净化对象室的内部来对该净化对象室的内部进行净化的净化装置中使用的净化液，其特征在于，所述净化液包含溶解有使水溶液的电导率增加的电解质的双氧水，该电解质为有机酸，将所述双氧水的电导率的值调整为14μScm以上。
全文数据：
权利要求：
百度查询： 株式会社爱瑞思 净化液以及使用该净化液的净化装置和净化方法
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