龙图腾网&IPTOP
- 微信扫码登录
- 账号密码登录
- 短信登录/注册
买专利卖专利找龙图腾，真高效！ 查专利查商标用IPTOP,全免费！专利年费监控用IP管家,真方便！
申请/专利权人：朗姆研究公司
摘要：一种射频RF功率产生器，其适用于耦合至多站式集成电路制造室，该射频功率产生器可以包含：振荡器，其提供周期性信号；以及一个以上的前置放大器，其各自具有用于从该振荡器接收信号的输入端口以及具有用于提供放大信号的输出端口。该RF产生器可额外包含一个以上的恒定增益放大器，其各自具有用于从该一个以上的前置放大器接收信号的输入端口、以及输出端口，该输出端口被配置成将放大信号耦合至电极以在该多站式集成电路制造室的指定的站中产生等离子体。
主权项：1.一种控制模块，包括：一个或多个输入端口，用于从射频功率传感器获得信号，所述信号指示在来自射频功率产生器的输出信号中检测到超出范围的参数；一个或多个输出端口，用于向所述射频功率产生器的放大器级提供信号，到所述放大器级的所述信号被配置为修改来自所述射频电源产生器的所述输出信号的参数；和处理器，用于在从所述射频功率传感器获得所述信号的大约10.0ns内启动从所述一个或多个输出端口生成所述信号。
全文数据：
权利要求：
百度查询： 朗姆研究公司 具有多个输出端口的射频功率产生器
免责声明
1、本报告根据公开、合法渠道获得相关数据和信息，力求客观、公正，但并不保证数据的最终完整性和准确性。
2、报告中的分析和结论仅反映本公司于发布本报告当日的职业理解，仅供参考使用，不能作为本公司承担任何法律责任的依据或者凭证。
主营中国专利交易买卖与专利转让许可,高校科技成果推广与科技成果转化,知识产权运营管理与平台开发,科技人才专家库与科技猎头等科技服务
开放平台
担保交易
惠及多方
会员特惠
专属平台
适合多方
数据共享
功能齐全
皖公网安备 34010402703815号