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一种碳化硅晶圆线切割废砂浆中金刚石磨料的回收方法 

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申请/专利权人:山东大学

摘要:本发明公开了一种碳化硅晶圆线切割废砂浆中金刚石磨料的回收方法,包括如下步骤:向切割废砂浆中加入水,搅拌、超声处理后,得到混合浆料A;将混合浆料A高速离心处理,得到固体B;将固体B与热碱溶液混合,超声处理后,自然沉降,得固体C;将固体C与强酸溶液混合后,超声处理,得到固体D;将固体D搅拌分散在乙醇水溶液中,自然沉降后得到固体E,即为金刚石磨料。

主权项:1.一种碳化硅晶圆线切割废砂浆中金刚石磨料的回收方法,其特征在于:包括如下步骤:向切割废砂浆中加入水,搅拌、超声处理后,得到混合浆料A;将混合浆料A高速离心处理,得到固体B;将固体B与热碱溶液混合,超声处理后,自然沉降,得固体C;将固体C与强酸溶液混合后,超声处理,得到固体D;将固体D搅拌分散在乙醇水溶液中,自然沉降后得到固体E,即为金刚石磨料。

全文数据:

权利要求:

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