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申请/专利权人：轻舟微电子(常州)有限公司
摘要：本发明公开了一种微机械超声波换能器及其制备方法，涉及超声波换能器领域，微机械超声波换能器包括第一超声波振元和第二超声波振元；所述第一超声波振元和所述第二超声波振元互相嵌套设置且两者之间具有间隙。本发明将超声波换能器的发射单元和接收单元进行分离，使用具有高压电系数及机电耦合系数的材料作为换能器的发射单元，用具有低介电损耗的材料作为信号接收单元，其在收发一体的使用场景下相比于传统单一材料的微机械超声波换能器，其工作性能大幅提升。
主权项：1.一种微机械超声波换能器，其特征在于：包括，第一超声波振元100和第二超声波振元200；所述第一超声波振元100和所述第二超声波振元200互相嵌套设置且两者之间具有间隙。
全文数据：
权利要求：
百度查询： 轻舟微电子(常州)有限公司 一种微机械超声波换能器及其制备方法
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