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一种导片装置及导片系统 

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申请/专利权人:江苏微导纳米科技股份有限公司

摘要:本发明提供了一种导片装置及导片系统,导片装置包括缓存齿组件,适当处于第一工位的第二承载单元中部分片材于缓存齿组件中之后,缓存齿组件中的片材和第一工位的第二承载单元中剩余的片材可以形成S个完整的提取单元,机械手通过S次提取可以将第二承载单元中所有片材提取完毕,这样可以适当扩展载片舟和花篮的载片数量,使二者的齿槽数量比不局限于1,不仅可以提升载片舟和花篮的承载量,而且提取单元的片材数量等于一个第一承载单元的承载量,片材在二者之间的转移效率比较高。

主权项:1.一种导片装置,用于第一承载单元和第二承载单元之间片材的转移,所述第一承载单元设置有N个用于承载片材的第一齿槽,所述第二承载单元设置有M个用于承载片材的第二齿槽,其中,所述M与N均为整数,且所述M与所述N的比值大于或者等于1;其特征在于,包括:第一工位,用于放置所述第二承载单元;缓存机构,具有缓存齿组件,所述缓存齿组件用于存储当前所述第一工位的所述第二承载单元指定位置的片材,以与所述第二承载单元剩余片材配置形成S个提取单元的结构,每一个所述提取单元中片材数量为N个,其中S大于或者等于1。

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权利要求:

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