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申请/专利权人：江苏林洋太阳能有限公司
摘要：本发明涉及晶硅电池切割面钝化方法及太阳能电池片半片和电池结构，其晶硅电池切割面钝化方法用于太阳能电池片半片的切割面在同一个腔体的两个分区中依次进行相分隔的PVD磁控溅射以使得切割面上依次形成第一钝化层和第二钝化层。本发明一方面通过所形成的叠层钝化结构，将场钝化和化学钝化有效结合，有效减少表面缺陷，降低光生载流子的复合速率，从而提高电池的光电转换效率；另一方面用PVD磁控溅射能满足沉积温度低、沉积速率快、成膜稳定性好等效果，还能解决在同一腔室内制备，提高膜层质量，降低交叉污染和设备投入问题。
主权项：1.一种晶硅电池切割面钝化方法，其特征在于，其用于太阳能电池片半片的切割面在同一个腔体的两个分区中依次进行相分隔的PVD磁控溅射以使得切割面上依次形成第一钝化层和第二钝化层，其中第一钝化层形成饱和切割面缺陷的化学钝化，所述第二钝化层在切割面的表面存在固定正电荷，所述固定正电荷会在切割面表面形成内建电场以完成场效应钝化，所述化学钝化和所述场效应钝化之间形成叠层钝化结构。
全文数据：
权利要求：
百度查询： 江苏林洋太阳能有限公司 晶硅电池切割面钝化方法及太阳能电池片半片和电池结构
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