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申请/专利权人：安徽微芯长江半导体材料有限公司

摘要：本发明公开了一种去除籽晶边缘缺陷的偏心加工装置，具体涉及去除籽晶边缘缺陷技术领域包括设备箱和定位组件，所述设备箱的内部固定安装有输出电机，所述调节机构的顶部固定安装有夹持机构，所述夹持机构的一侧活动安装有打磨机构。该去除籽晶边缘缺陷的偏心加工装置，通过设置的夹持机构定心夹持晶锭、定位组件与调节机构，同时通过限位机构限制打磨机构的位移距离，将打磨机构可以在位移至保留部分外壁时停下，综上所述晶锭偏心旋转，而打磨机构始终朝向晶锭需要保留位置的圆心位移并会在接触需要保留位置的外壁时停止挤压，本设备可以保留了晶锭的优质面积，并有效去除了边缘缺陷，大大的节约了因边缘缺陷导致晶锭报废的费用。

主权项：1.一种去除籽晶边缘缺陷的偏心加工装置，包括设备箱（1）和定位组件（5），所述设备箱（1）的内部固定安装有输出电机（2），所述输出电机（2）的输出轴通过联轴器固定连接有调节机构（3），所述调节机构（3）的顶部固定安装有夹持机构（4），所述夹持机构（4）的顶部固定安装有晶锭（11），所述夹持机构（4）的一侧活动安装有打磨机构（8），所述输出电机（2）的顶部设置有联动机构（6），所述输出电机（2）的输出轴通过联动机构（6）固定连接在打磨机构（8）的底部，所述联动机构（6）的内部固定安装有反转机构（7），所述设备箱（1）的顶部固定安装有拉紧机构（9），所述拉紧机构（9）的一侧固定安装有限位机构（10），其特征在于：所述定位组件（5）包括透明盘（501），所述透明盘（501）的圆心开设有定位孔（502）；所述夹持机构（4）包括夹持盘（401），所述夹持盘（401）的内部开设有若干滑槽（402），所述滑槽（402）的内部滑动安装有夹爪（403），其中两组所述夹爪（403）的底部固定安装有气缸（404），所述夹爪（403）的底部旋转安装有同步连接杆（405），所述夹持盘（401）的底部旋转安装有第二活动块（406），若干所述同步连接杆（405）的一端旋转安装在第二活动块（406）的底部；所述调节机构（3）包括安装盘（301），所述安装盘（301）的内部旋转安装有第一螺杆（302），所述第一螺杆（302）的外壁螺纹连接有U型块（303），所述安装盘（301）的内部旋转安装有滑杆（304），所述滑杆（304）的外壁设置有第一限位凸（305），所述U型块（303）的内部旋转安装有第一调节锥齿轮（306），所述滑杆（304）滑动安装在第一调节锥齿轮（306）的内部，所述第一调节锥齿轮（306）的一侧啮合连接有第二调节锥齿轮（307），所述第二调节锥齿轮（307）的一侧固定连接有第二螺杆（308），所述第二螺杆（308）的外壁螺纹连接有第一活动块（309），所述第一活动块（309）的顶部固定连接有连接盘（310），所述连接盘（310）固定安装在夹持机构（4）的底部。

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