龙图腾网&IPTOP
- 微信扫码登录
- 账号密码登录
- 短信登录/注册
买专利卖专利找龙图腾，真高效！ 查专利查商标用IPTOP,全免费！专利年费监控用IP管家,真方便！
申请/专利权人：青海黄河上游水电开发有限责任公司新能源分公司;青海芯测科技有限公司;青海黄河上游水电开发有限责任公司;国家电投集团黄河上游水电开发有限责任公司
摘要：本发明公开了一种多晶硅还原炉钟罩的清洗系统及方法，涉及多晶硅还原炉技术领域。该系统包括：低压模块，用于将清洗液在低压状态下输送至多晶硅还原炉钟罩内进行清洗；高压模块，用于将清洗液在高压状态下输送至多晶硅还原炉钟罩内进行清洗；其中，低压的范围大于等于13MpaG且小于18MpaG；所述高压的范围大于等于18MpaG且小于25MpaG。本方案可以根据钟罩材质的不同，选择不同的压力模式进行清洗，进而解决了当被清洗钟罩为新型银喷涂钟罩内壁时由于清洗液压力过高会导致银喷涂钟罩内壁银涂层脱落，进而导致多晶硅生产成品质量异常、硅棒利用率下降等问题。
主权项：1.一种多晶硅还原炉钟罩的清洗系统，其特征在于，包括：低压模块，用于将清洗液在低压状态下输送至多晶硅还原炉钟罩内进行清洗；高压模块，用于将清洗液在高压状态下输送至多晶硅还原炉钟罩内进行清洗；其中，所述低压的范围大于等于13MpaG且小于18MpaG；所述高压的范围大于等于18MpaG且小于25MpaG。
全文数据：
权利要求：
百度查询： 青海黄河上游水电开发有限责任公司新能源分公司 青海芯测科技有限公司 青海黄河上游水电开发有限责任公司 国家电投集团黄河上游水电开发有限责任公司 一种多晶硅还原炉钟罩的清洗系统及方法
免责声明
1、本报告根据公开、合法渠道获得相关数据和信息，力求客观、公正，但并不保证数据的最终完整性和准确性。
2、报告中的分析和结论仅反映本公司于发布本报告当日的职业理解，仅供参考使用，不能作为本公司承担任何法律责任的依据或者凭证。
主营中国专利交易买卖与专利转让许可,高校科技成果推广与科技成果转化,知识产权运营管理与平台开发,科技人才专家库与科技猎头等科技服务
开放平台
担保交易
惠及多方
会员特惠
专属平台
适合多方
数据共享
功能齐全
皖公网安备 34010402703815号