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申请/专利权人：江苏微导纳米科技股份有限公司
摘要：本申请涉及一种支撑结构、支撑组件以及镀膜设备。支撑结构包括支撑本体，支撑本体具有配合面，配合面用于承载石墨舟。支撑本体还具有气道，气道具有进气口及出气口，出气口位于配合面上。上述支撑结构，其具有能够通入气体的气道，且气道的出气口位于配合面上。如此，从气道的进气口通入的高压气体，能够自配合面上的出气口向外吹出，也就是支撑结构可向外排出气体。一方面，这些高压气体能够在配合面上形成高压区域，能够提高发生剧烈反应所需的电压，缓解或解决高频打弧的问题。另一方面，这些高压气体能够在配合面上形成相对高压的区域并向外吹扫，抑制了该区域CVD反应的发生并在配合面沉积绝缘膜的情况，缓解了支撑结构附近打弧、出粉的问题。
主权项：1.一种支撑结构，其特征在于，所述支撑结构包括支撑本体，所述支撑本体具有配合面，所述配合面用于与石墨舟配合；所述支撑本体还具有气道，所述气道具有进气口及出气口，所述出气口位于所述配合面上。
全文数据：
权利要求：
百度查询： 江苏微导纳米科技股份有限公司 支撑结构、支撑组件以及镀膜设备
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