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申请/专利权人：铂睿希(苏州)电子机械有限公司
摘要：本发明公开了一种抛光装置，包括基座、至少一个抛光头组件，至少一个抛光盘驱动组件以及至少一个抛光液输送组件，抛光头驱动组件包括第一驱动件以及抛光头，第一驱动件安装于所述基座上，并与所述抛光头连接；抛光盘驱动组件包括第二驱动件、导热盘体、抛光垫以及第二供冷件，第二驱动件安装于所述基座上，并与导热盘体连接，抛光垫与导热盘体贴合，且抛光垫的横截面积与待抛光件的横截面积之比大于等于第一阈值，第一供冷件与导热盘体连接；抛光液传输组件包括第一供液源和第二供冷件，第一供液源内的抛光液经过第二供冷件后输送至抛光垫上。通过对抛光垫的温度控制，以保证抛光垫可在设定的温度工作，避免了抛光垫温度过高导致的形变。
主权项：1.一种抛光装置，其特征在于，包括：基座1；至少一个抛光头驱动组件2，其包括第一驱动件21以及抛光头22，所述第一驱动件21安装于所述基座1上，并与所述抛光头22连接，且所述第一驱动件21能够带动所述抛光头22转动；至少一个抛光盘驱动组件，其包括第二驱动件31、导热盘体32、抛光垫33以及第一供冷件，所述第二驱动件31安装于所述基座1上，并与所述导热盘体32连接，且所述第二驱动件31能够带动所述导热盘体32转动，所述抛光垫33与所述导热盘体32贴合，且所述抛光垫33的横截面积与待抛光件的横截面积之比大于等于第一阈值，所述第一供冷件与所述导热盘体32连接，所述第一供冷件用于对所述导热盘体32进行冷却；至少一个抛光液传输组件，包括第一供液源和第二供冷件，所述第一供液源内的抛光液经过所述第二供冷件后输送至所述抛光垫33上，所述第二供冷件用于对流经其内的抛光液进行冷却。
全文数据：
权利要求：
百度查询： 铂睿希(苏州)电子机械有限公司 一种抛光装置
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