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申请/专利权人：矽电半导体设备(深圳)股份有限公司
摘要：本发明公开了一种间距测量装置及其测量方法，其中，间距测量装置用于测量积分球的收光口到玻璃载片台的距离，包括：等效替代件；测量机构，包括升降架，升降架设置有第一半反半透棱镜、第一光学位移测量头、第二光学位移测量头，第二光学位移测量头能够平移，升降架设置有测量第二光学位移测量头平移距离的位移传感器；光谱分析机构，包括光谱仪、第一光路、第二光路。本发明的一种间距测量装置及其测量方法，能够方便地测量积分球的收光口到玻璃载片台的距离，避免伸入到积分球的收光口和玻璃载片台之间进行测量，进而方便对玻璃载片台和积分球进行评估分析，便于综合评估和分析半导体颗粒的质量。
主权项：1.一种间距测量装置，其特征在于，用于测量积分球（1）的收光口到玻璃载片台（2）的距离，所述间距测量装置包括：等效替代件，用于替代所述积分球（1）的收光口；测量机构，包括位于所述玻璃载片台（2）顶部的升降架（4），所述升降架（4）设置有第一半反半透棱镜（5）、位于所述第一半反半透棱镜（5）顶部的第一光学位移测量头（6）、位于所述第一半反半透棱镜（5）一侧的第二光学位移测量头（7），所述第二光学位移测量头（7）能够平移，所述升降架（4）设置有测量所述第二光学位移测量头（7）平移距离的位移传感器（8）；光谱分析机构，包括至少一个光谱仪（9）、连接所述光谱仪（9）与所述第一光学位移测量头（6）和所述第二光学位移测量头（7）的光传输路线；使用时，所述第一光学位移测量头（6）的光聚焦到所述等效替代件和所述玻璃载片台（2）中的一个，然后，调整所述第二光学位移测量头（7），使所述第二光学位移测量头（7）的光聚焦到所述等效替代件和所述玻璃载片台（2）中的另一个；根据所述第一光学位移测量头（6）的读数D1、所述第二光学位移测量头（7）的读数D2和所述位移传感器（8）的读数D3获取所述积分球（1）的收光口到所述玻璃载片台（2）的距离F，F=D3+D2-D1，其中，以所述第二光学位移测量头（7）远离所述第一半反半透棱镜（5）的方向为正。
全文数据：
权利要求：
百度查询： 矽电半导体设备(深圳)股份有限公司 一种间距测量装置及其测量方法
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