龙图腾网&IPTOP
- 微信扫码登录
- 账号密码登录
- 短信登录/注册
买专利卖专利找龙图腾，真高效！ 查专利查商标用IPTOP,全免费！专利年费监控用IP管家,真方便！
申请/专利权人：上海睿昇半导体科技有限公司
摘要：本发明属于半导体设备技术领域，公开了一种匀流腔小孔面加工方法及匀流装置。该方法包括如下步骤：开粗：去除预加工工件上预设表面以外表面的材料余量，并形成半成品件；第一次开孔：于与预设表面相邻的表面贯穿开设匀流腔；第二次开孔：于预设表面上同排开设多个排气孔，排气孔连通于匀流腔，且排气孔的排列方向与匀流腔的延伸方向相平行，于与预设表面相对的表面开设进气孔，进气孔连通于匀流腔；切割：使用线切割去除预设表面上的材料余量，以形成成品件。通过上述方法制得的匀流装置，保证了排气孔表面的光洁度，也不会导致排气孔被堵塞，从而能够在不影响排气孔排气的情况下，去除排气孔表面处的材料余量，进而确保了加工工艺质量。
主权项：1.匀流腔小孔面加工方法，用于在预加工工件的预设表面上开设多个同排设置的排气孔21，其特征在于，包括以下步骤：开粗：去除所述预加工工件上所述预设表面以外表面的材料余量，并形成半成品件10’；第一次开孔：于所述半成品件10’上，与所述预设表面相邻的表面贯穿开设匀流腔22；第二次开孔：于所述半成品件10’上，与所述预设表面上同排开设多个所述排气孔21，所述排气孔21连通于所述匀流腔22，且所述排气孔21的排列方向与所述匀流腔22的延伸方向相平行，于与所述预设表面相对的表面开设进气孔11，所述进气孔11连通于所述匀流腔22；切割：使用线切割的方式，去除所述预设表面上的材料余量，以形成成品件。
全文数据：
权利要求：
百度查询： 上海睿昇半导体科技有限公司 匀流腔小孔面加工方法及匀流装置
免责声明
1、本报告根据公开、合法渠道获得相关数据和信息，力求客观、公正，但并不保证数据的最终完整性和准确性。
2、报告中的分析和结论仅反映本公司于发布本报告当日的职业理解，仅供参考使用，不能作为本公司承担任何法律责任的依据或者凭证。
主营中国专利交易买卖与专利转让许可,高校科技成果推广与科技成果转化,知识产权运营管理与平台开发,科技人才专家库与科技猎头等科技服务
开放平台
担保交易
惠及多方
会员特惠
专属平台
适合多方
数据共享
功能齐全
皖公网安备 34010402703815号