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申请/专利权人：北京晶亦精微科技股份有限公司
摘要：本发明涉及晶圆干燥技术领域，公开了一种晶圆干燥方法及晶圆干燥装置，晶圆干燥方法包括：将晶圆放置于干燥腔室内的旋转平台上；通过第一喷嘴向旋转的晶圆的表面传输混合液体，以在表面形成液膜，其中，混合液体为去离子水和醇类表面活性剂混合的液体；通过第二喷嘴向旋转的晶圆的表面传输混合气体，以置换液膜，完成对晶圆的干燥，其中，混合气体为异丙酮蒸汽和氮气混合的气体，第一喷嘴和第二喷嘴以相同的速度从晶圆的中心向晶圆的边缘移动。本发明通过去离子水和醇类表面活性剂的混合液体在晶圆表面布液，能够使晶圆表面形成的液膜更加均匀，减少异丙酮直接接触晶圆表面或未完全置换液膜的情况，提升晶圆表面的洁净度。
主权项：1.一种晶圆干燥方法，其特征在于，所述方法包括：将晶圆放置于干燥腔室内的旋转平台上；通过第一喷嘴向旋转的所述晶圆的表面传输混合液体，以在所述表面形成液膜，其中，所述混合液体为去离子水和醇类表面活性剂混合的液体；通过第二喷嘴向旋转的所述晶圆的表面传输混合气体，以置换所述液膜，完成对所述晶圆的干燥，其中，所述混合气体为异丙酮蒸汽和氮气混合的气体，所述第一喷嘴和所述第二喷嘴以相同的速度从所述晶圆的中心向所述晶圆的边缘移动。
全文数据：
权利要求：
百度查询： 北京晶亦精微科技股份有限公司 晶圆干燥方法及晶圆干燥装置
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