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申请/专利权人：AMS传感器英国有限公司
摘要：我们公开了一种红外IR装置，包括：第一基底，包括第一空腔；介电层，设置在第一基底上；第二基底，设置在所述介电层上并且设置在所述第一基底的相对侧上，所述第二基底具有第二空腔。该装置还包括连接于第一基底和第二基底中的一个的光透射层；另一层，设置于所述第一基底和所述第二基底中的另一个，使得所述IR装置基本上封闭。设置有穿过所述介电层的孔，使得第一空腔中的压力与第二空腔中的压力基本上相同。
主权项：1.一种红外IR装置，包括：第一基底，所述第一基底包括第一空腔；介电层，所述介电层设置在所述第一基底上；第二基底，所述第二基底设置在所述介电层上并且设置在所述第一基底的相对侧上，所述第二基底具有第二空腔；光透射层，所述光透射层连接于所述第一基底和所述第二基底中的一个；另一层，所述另一层设置于所述第一基底和所述第二基底中的另一个，使得所述红外装置基本上封闭；其中，设置有穿过所述介电层的孔，使得所述第一空腔中的压力与所述第二空腔中的压力基本上相同，所述红外装置还包括在所述另一层上的反射材料，并且所述红外装置还包括直接位于所述介电层下方的反射材料。
全文数据：
权利要求：
百度查询： AMS传感器英国有限公司 一种红外装置
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