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申请/专利权人：东莞市中麒光电技术有限公司
摘要：本发明公开了一种通过转移晶圆批量转移、固定LED芯片的吸盘及其使用方法，所述的吸盘为静电吸盘，包括：平坦吸附区、及设置平坦吸附区的静电电路，通过带有静电电路的平坦吸附区直接把整块晶圆转移，根据背板上所需要LED芯片，选择性使晶圆上对应的LED芯片脱离转移至背板，本发明主要用于LED芯片批量转移，以此来提高LED芯片向背板转移的良率，本产品结构简单，使用方法简便。
主权项：1.一种通过转移晶圆批量转移、固定LED芯片的吸盘，其特征在于，所述的吸盘为透明玻璃的静电吸盘，包括：平坦吸附区、及设置平坦吸附区的静电电路，通过带有静电电路的平坦吸附区直接把整块晶圆转移，根据背板上所需要LED芯片，利用激光透过静电吸盘选择性剥离、固定晶圆上相应的LED芯片至背板；其中，所述静电吸盘平坦吸附区上的静电电路根据背板上所需要LED芯片的尺寸间距排列，静电吸盘通电后，平坦吸附区上的静电电路与对应晶圆上不需要固定至背板的LED芯片形成静电回路。
全文数据：
权利要求：
百度查询： 东莞市中麒光电技术有限公司 一种通过转移晶圆批量转移、固定LED芯片的吸盘及方法
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