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申请/专利权人：细美事有限公司
摘要：本发明公开一种裸芯拾取装置。该裸芯拾取装置包括用于支承晶圆的晶圆台架，晶圆包括多个裸芯及裸芯附于其上的切割带，设置在支承于晶圆台架上的晶圆下方并配置为将裸芯自切割带分离的裸芯顶出器，以及用于拾取由裸芯顶出器分离的裸芯的拾取模块。该裸芯顶出器包括具有用于真空吸附切割带下表面的真空孔的罩，设置在罩中并配置为可沿垂直方向移动穿过罩以将裸芯自切割带分离的顶出构件，管状且耦接于罩下部的顶出器主体，以及根据裸芯厚度调节罩内真空度的真空控制部。
主权项：1.一种裸芯拾取装置，包括：用于支承晶圆的晶圆台架，所述晶圆包括多个裸芯及所述裸芯附于其上的切割带；设置在支承于所述晶圆台架上的所述晶圆下方的裸芯顶出器，其配置为将所述裸芯自所述切割带分离；以及用于拾取由所述裸芯顶出器分离的裸芯的拾取模块，其中，所述裸芯顶出器包括：罩，其具有用于真空吸附所述切割带的下表面的真空孔；设置在所述罩中的顶出构件，其配置为可沿垂直方向移动穿过所述罩以将所述裸芯自所述切割带分离；管状的顶出器主体，其耦接于所述罩的下部；以及用于根据所述裸芯的厚度调节所述罩内的真空度的真空控制部，其中所述拾取模块包括：配置为可沿垂直方向移动以拾取由所述裸芯顶出器分离的裸芯的拾取器；以及用于控制所述拾取器的操作的拾取器控制部，其中所述拾取器控制部控制所述拾取器的操作，使得所述拾取器与所述切割带的上表面接触并与所述裸芯之一接触，并根据所述拾取器与所述切割带的上表面接触的第一高度及所述拾取器与所述裸芯之一接触的第二高度计算所述裸芯的厚度，其中当所述拾取器与所述切割带的上表面接触时，所述裸芯顶出器设置在所述拾取器的下方并支承所述切割带，并且当所述拾取器与所述裸芯之一接触时，所述裸芯顶出器设置在所述拾取器的下方并支承所述裸芯之一，其中当所述切割带及所述裸芯之一由所述裸芯顶出器支承时，所述罩内保持为大气压力。
全文数据：
权利要求：
百度查询： 细美事有限公司 裸芯顶出器及包含其的裸芯拾取装置
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