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申请/专利权人:苏州天华超净科技股份有限公司
摘要:本发明静电防护与电子制程设备技术领域,提供一种具备静电消除功能的空气过滤装置,包括沿气流方向依次设置的风源、过滤单元和电集尘除静电系统,其中,风源用于提供空气流动的动力;过滤单元用于对空气中异物实现物理拦截;电集尘除静电系统用于对经过过滤单元的空气进行进一步的电晕集尘以及静电消除;所述电集尘除静电系统设置在过滤单元的气流方向的下游。本发明将由单纯滤材的物理拦截改进为滤材物理拦截+电集尘除静电技术相结合,提高了除尘效率、效果的同时还实现了静电的去除。
主权项:1.一种具备静电消除功能的空气过滤装置,其特征在于:包括沿气流方向依次设置的风源、过滤单元和电集尘除静电系统,其中,风源用于提供空气流动的动力;过滤单元用于对空气中异物实现物理拦截;电集尘除静电系统用于对经过过滤单元的空气进行进一步的电晕集尘以及静电消除;所述电集尘除静电系统设置在过滤单元的气流方向的下游;所述电集尘除静电系统包括电晕放电集尘单元、采集板、检测电路、调节电路和高压电源,其中,高压电源与电晕放电集尘单元连接用于释放等量的正负离子,所述采集板设置在电晕放电集尘单元的气流方向的下游,用于采集放电电流,并在采集板上形成电压信号;检测电路与采集板连接检测电压信号的大小;调节电路分别与检测电路和高压电源连接,用于根据电压信号调节高压电源的输出,使空间内的正负离子保持平衡;所述电晕放电集尘单元包括电极组件和均流接地板,均流接地板设置在电极组件的上游和或下游,电极组件与高压电源连接,且均流接地板与高压电源共地;所述电极组件包括绝缘框架、放电电极以及绝缘隔板,所述绝缘框架上平行设置多个放电电极,相邻放电电极之间设置绝缘隔板进行分隔,且所述放电电极依次交替连接正高压电源和负高压电源,形成正负放电电极交替排布的结构;所述均流接地板包括均流网,所述均流网的边缘设置绝缘框,所述绝缘框上设置有安装孔。
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权利要求:
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