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申请/专利权人：江苏通用半导体有限公司
摘要：本发明提供一种精密激光加工晶圆移动系统，包括机架，机架上设置将晶圆托盘从机架上的晶圆储料盒转运到切割平台的晶圆真空吸盘上进行激光加工的移动系统，移动系统包括直线转运机构、转动转运机构以及晶圆真空吸盘移动机构；直线转运机构下方转运位设置可以存放晶圆托盘的托料架；直线转运机构将晶圆托盘在晶圆储料盒的夹持位和转运位之间转换；转动转运机构使晶圆托盘在转运位和切割平台上的加工转运位之间转换；晶圆真空吸盘移动机构使晶圆托盘在切割平台上沿着X方向和Y方向直线移动。本发明结构紧凑、定位准确、加工精度高。
主权项：1.精密激光加工晶圆移动系统，包括机架，机架上设置将晶圆托盘从机架上的晶圆储料盒转运到切割平台的晶圆真空吸盘上进行激光加工的移动系统，其特征在于：所述移动系统包括直线转运机构、转动转运机构以及晶圆真空吸盘移动机构；直线转运机构下方转运位设置可以存放晶圆托盘的托料架；直线转运机构将晶圆托盘在晶圆储料盒的夹持位和转运位之间转换；转动转运机构使晶圆托盘在转运位和切割平台上的加工转运位之间转换；晶圆真空吸盘移动机构使晶圆托盘在切割平台上沿着X方向和Y方向直线移动；所述直线转运机构包括晶圆夹持机构以及带动晶圆夹持机构直线移动的夹持直线驱动机构；夹持直线驱动机构的运动件包括直线转运滑块；直线转运滑块上设置夹持滑块，夹持滑块可以沿着直线转运滑块移动方向上移动；夹持滑块和直线转运滑块之间设置夹持滑块复位弹簧；夹持滑块复位弹簧的长度沿着夹持滑块的移动方向；所述夹持滑块和直线转运滑块之间夹持滑块位移检测机构；即直线转运滑块上设置滑块位移传感器、夹持滑块上对应位置设置滑块位移检测条；或者夹持滑块上设置滑块位移传感器、直线转动滑块上对应位置设置滑块位移检测条；所述转动转运机构包括转动设置在机架上转运连接体，转运连接体两端分别设置转运升降气缸，转运升降气缸的外侧面设置转运升降气缸导轨，转运升降气缸的活塞头固定转运气缸连接板，转运气缸连接板固定转运升降气缸滑块；转运升降气缸滑块与转运升降气缸导轨构成导轨副；转运升降气缸滑块外侧伸出悬臂，悬臂上固定转运吸盘。
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