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申请/专利权人：电子科技大学
摘要：本发明公开了一种高吸收低热容的微测辐射热计，属于辐射热计领域，包括多个像元结构，所述像元结构包括依次连接的第一敏感单元、第一真空谐振腔、第二敏感单元和反射层，其中，反射层和第二敏感单元之间设有第二真空谐振腔，所述第二真空谐振腔用于将反射层反射回的入射光进行多次谐振吸收；所述第一敏感单元上设有第一开孔结构，所述第二敏感单元上均设有第二开孔结构，所述第一开孔结构用于与第一真空谐振腔产生共振耦合，所述第二开孔结构用于与第二真空谐振腔产生共振耦合。通过引入开孔设计，可以有效提升微测辐射热计吸收特性，减小热容，从而提升器件响应速度，从而制备出高质量、高吸收、具有较低电容的微测辐射热计。
主权项：1.一种高吸收低热容的微测辐射热计，包括多个像元结构，其特征在于，所述像元结构包括依次连接的：第一敏感单元1，用于对入射光进行吸收；第一真空谐振腔2，用于对透过第一敏感单元1的入射光进行多次谐振吸收；第二敏感单元3，用于对透过第一真空谐振腔2的入射光进行吸收；反射层5，用于将透过第二敏感单元3的入射光反射回第二敏感单元3进行吸收；其中，所述反射层5和第二敏感单元3之间设有第二真空谐振腔4，所述第二真空谐振腔4用于将反射层5反射回的入射光进行多次谐振吸收；所述第一敏感单元1上设有贯穿第一敏感单元1的第一开孔结构11，所述第二敏感单元3上均设有贯穿第二敏感单元3的第二开孔结构31，所述第一开孔结构11用于与第一真空谐振腔2产生共振耦合，所述第二开孔结构31用于与第二真空谐振腔4产生共振耦合；所述第一开孔结构11用于与第一真空谐振腔2产生共振耦合，包括：第一开孔结构11与第一真空谐振腔（2）的共振模式、第一敏感单元（1）中产生的表面等离子体共振模式以及局域表面等离子体共振模式产生共振耦合，实现对入射光的第一级吸收；所述第二开孔结构31用于与第二真空谐振腔4产生共振耦合，包括：第二开孔结构31与第二真空谐振腔（4）的共振模式、第二敏感单元（3）中产生的表面等离子体共振模式以及局域表面等离子体共振模式产生共振耦合，实现对入射光的第二级吸收。
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权利要求：
百度查询： 电子科技大学 一种高吸收低热容的微测辐射热计
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