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受光面特定钝化的联合钝化背接触电池及其制作和应用 

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申请/专利权人:金阳(泉州)新能源科技有限公司

摘要:本发明属于背接触电池技术领域,具体涉及一种受光面特定钝化的联合钝化背接触电池及其制作和应用,包括硅基底,在硅基底背面交替设置的第一半导体层和第二半导体层,还包括在硅基底受光面依次设置的第二隧穿氧化层、超薄非晶硅层和减反层,超薄非晶硅层的厚度为0.5‑3nm,第二隧穿氧化层、超薄非晶硅层的厚度之比为0.15‑1:1。本发明能使得整体的钝化效果在较高水平,会显著提高短路电流和电池转换效率,同时大幅降低设备成本。

主权项:1.一种受光面特定钝化的联合钝化背接触电池,包括硅基底,在硅基底背面交替设置的第一半导体层和第二半导体层,所述第二半导体层的两端分别向外延伸至覆盖在相邻的第一半导体层的部分背面外,并在第一半导体层的背面开设不覆盖第二半导体层的第一半导体开口区,其中,第一半导体层包含第一隧穿氧化层和第一掺杂多晶硅层,第二半导体层包含本征硅层和第二掺杂硅层,其特征在于,还包括在硅基底受光面依次设置的第二隧穿氧化层、超薄非晶硅层和减反层,第二隧穿氧化层的厚度为0.5-1.5nm,超薄非晶硅层的厚度为0.5-3nm,第二隧穿氧化层、超薄非晶硅层的厚度之比为0.15-1:1。

全文数据:

权利要求:

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