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申请/专利权人:索尼公司
摘要:一种铁电存储装置,具备铁电体膜和一对电极,所述铁电体膜是:A具有萤石型晶体结构,B包含长度nm大于厚度nm的板状雏晶,C厚度为1nm以上且30nm以下,并且D长度与厚度之比为2以上且小于100;所述一对电极与该铁电体膜连接。
主权项:1.一种铁电存储装置,具备铁电体膜和一对电极,所述铁电体膜是:(A)具有萤石型晶体结构,(B)包含长度大于厚度的板状雏晶,(C)所述厚度为1nm以上且30nm以下,并且(D)所述长度与所述厚度的比率为2以上且小于100,所述一对电极与所述铁电体膜连接,所述厚度是在向铁电存储装置施加电压的方向上的尺寸,所述长度是在与上述的电压施加方向相交的方向上的尺寸,所述铁电体膜包含氧化锆、氧化铪、氧化铈及它们的两种以上固溶体中的至少一种,所述固溶体包含由下式(1)表示的锆铪化合物,HfxZr1-xO2……(1),x满足0x1。
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