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申请/专利权人：宁波润华全芯微电子设备有限公司
摘要：本发明提供了一种大尺寸晶圆搬运装置；包括：底座，底座包括壳体和活动开口，活动开口设于壳体两侧；驱动装置安装于壳体内部；至少一个连接组件穿过活动开口连接驱动装置，连接组件内设有气道；至少一个机械臂连接连接组件；至少一个气管转接头安装于连接组件靠近活动开口处，气管转接头连通连接组件的气道；防尘带安装于活动开口处，且防尘带在连接组件处绕过气管转接头；其中，驱动装置能带动连接组件和机械臂向远离或者靠近底座的方向活动，且防尘带将跟随连接组件活动。本发明解决了传统的晶圆搬运装置不能稳定地搬运大尺寸的晶圆，且活动开口处容易进灰尘和其他杂质，会导致搬运装置故障或运行不稳定，从而影响晶圆的加工效率的技术问题。
主权项：1.一种大尺寸晶圆搬运装置，其特征在于，包括：底座（10），所述底座（10）包括壳体（11）和活动开口（12），所述活动开口（12）设于所述壳体（11）两侧；驱动装置（20），所述驱动装置（20）安装于所述壳体（11）内部；至少一个连接组件（30），所述至少一个连接组件（30）穿过所述活动开口（12）连接所述驱动装置（20），每个所述连接组件（30）内均设有气道；至少一个机械臂（40），一个所述机械臂（40）连接至少一个所述连接组件（30）；至少一个气管转接头（50），一个所述气管转接头（50）安装于一个所述连接组件（30）靠近所述活动开口（12）处，一个所述气管转接头（50）连通一个所述连接组件（30）的气道；防尘带（60），所述防尘带（60）安装于所述活动开口（12）处，且所述防尘带（60）在一个所述连接组件（30）处绕过一个所述气管转接头（50）；其中，所述驱动装置（20）能带动所述连接组件（30）和所述机械臂（40）向远离或者靠近所述底座（10）的方向活动，且所述防尘带（60）将跟随所述连接组件（30）活动。
全文数据：
权利要求：
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