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申请/专利权人：沈阳富创精密设备股份有限公司
摘要：本实用新型涉及半导体加工技术领域，特别涉及一种基于球头柱塞的旋转装置可调节限位结构，通过两个限位块和两个球头柱塞限制旋转角度的上极限位置和下极限位置，从而对应立板背面的主轴上安装偏心轮，偏心轮的最远位置和最近位置对应旋转角度的上极限位置和下极限位置，通过偏心轮顶压实现货叉的升降。本装置结构简单，使用方便，通过调节限位块安装螺栓的伸出长度和调节块的偏转角度，可以对装置的上、下极限位置进行调节，在球头柱塞和限位块的作用下，对装置进行限位，避免装置在极限位置产生偏移，提高装置的稳定性。
主权项：1.一种基于球头柱塞的旋转装置可调节限位结构，其特征在于：用于实现晶圆盒输送小车升降装置的货叉的升降；包括立板1、带座轴承11、限位转接板7和调节块3；所述立板1上设置带座轴承11，带座轴承11上安装主轴10，主轴10通过外盖13与旋转装置的转盘12的中心连接；主轴10为阶梯轴，主轴10侧面加工安装平面19，在安装平面19上安装挡块9；所述挡块9为L型，竖直部分开设安装孔17，水平部分向上加工有三角凸起18；所述立板1上带座轴承11两侧通过紧定螺钉6安装两个限位转接板7，分别安装在设备旋转角度的上极限位置和下极限位置；两个限位转接板7上各安装一个限位块4；所述立板1上设置两个调节块3，分别安装在设备上极限位置和下极限位置时三角凸起18指示的位置；调节块3为长方体，侧面中心开设带有螺纹的柱塞孔15，用于安装球头柱塞2，顶部开设沉头孔；所述立板1背面的主轴10上安装偏心轮14，偏心轮14的最远位置和最近位置对应旋转角度的上极限位置和下极限位置，通过偏心轮14顶压实现货叉的升降。
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百度查询： 沈阳富创精密设备股份有限公司 一种基于球头柱塞的旋转装置可调节限位结构
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