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申请/专利权人：开封宸亚新能源有限公司;西尔克斯科技有限公司;开封国投投资有限公司
摘要：本实用新型提供了一种太阳能基板镀膜装置，包括：基体，具有真空腔室，真空腔室的顶腔壁可拆卸地设置；传送装置，设置于真空腔室内，传送装置具有基板传送面，真空腔室在传送装置的传送方向的两侧具有第一侧腔壁和第二侧腔壁；激光传感器，包括两个工作端，两个工作端中的一个为传感器发送端，两个工作端中的另一个为传感器反射端，两个工作端分别设置于真空腔室的底腔壁、第一侧腔壁和第二侧腔壁中的任两个上并与相对应的腔壁密封连接，两个工作端倾斜设置以使激光传感器的光源中心线L倾斜并穿透基板传送面上的基板。应用本实用新型的技术方案能够有效地解决现有技术中太阳能基板镀膜装置的维护效率低的问题。
主权项：1.一种太阳能基板镀膜装置，其特征在于，包括：基体10，具有真空腔室1，所述真空腔室1的顶腔壁11可拆卸地设置；传送装置20，设置于所述真空腔室1内，所述传送装置20具有基板传送面，所述真空腔室1在所述传送装置20的传送方向的两侧具有第一侧腔壁12和第二侧腔壁13；激光传感器30，包括两个工作端31，两个所述工作端31中的一个为传感器发送端，两个所述工作端31中的另一个为传感器反射端，两个所述工作端31分别设置于所述真空腔室1的底腔壁14、所述第一侧腔壁12和第二侧腔壁13中的任两个上并与相对应的腔壁密封连接，两个所述工作端31倾斜设置以使所述激光传感器30的光源中心线L倾斜并穿透所述基板传送面上的基板2。
全文数据：
权利要求：
百度查询： 开封宸亚新能源有限公司 西尔克斯科技有限公司 开封国投投资有限公司 太阳能基板镀膜装置
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