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申请/专利权人：成都拓米双都光电有限公司
摘要：本实用新型公开了一种CFG蚀刻装置，包括用于承载待蚀刻玻璃的金属衬板，设置于金属衬板侧面的安装孔，安置于安装孔内的电加热元件和温度传感器，安置于安装孔上的封堵件，以及与电加热元件和温度传感器均电连接的温度控制器，其中安装孔内安置的电加热元件和温度传感器与待蚀刻玻璃的中部减薄区域对应。本实用新型通过结构设计改进了CFG蚀刻工艺，利用加热促进中部减薄区域的蚀刻进程，玻璃蚀刻后表面呈现为无突变的均匀缓坡，解决了传统工艺中出现的厚度断差问题，而且通过使用本实用新型缩减了蚀刻工艺中胶带的使用过程，节约了胶带耗材成本，简化了工艺流程，也有效解决了传统工艺中胶带边缘渗酸导致的不良蚀刻问题。
主权项：1.一种CFG蚀刻装置，其特征在于，包括由耐氢氟酸材料制成的金属衬板1，设置于金属衬板1侧面的安装孔5，安置于安装孔5内的电加热元件2和温度传感器3，安置于安装孔5在金属衬板1上开口处的封堵件6，以及与电加热元件2和温度传感器3均电连接的温度控制器4，其中金属衬板1用于承载待蚀刻玻璃，安装孔5内安置的电加热元件2和温度传感器3与待蚀刻玻璃的中部减薄区域对应。
全文数据：
权利要求：
百度查询： 成都拓米双都光电有限公司 一种CFG蚀刻装置
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