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申请/专利权人：浙江师范大学
摘要：本实用新型属于半导体封测领域，具体为一种单压电叠堆驱动的高速探针装置。从内到外依次设置有压电叠堆、杠杆、壳体、安装座、探针；所述下接块配套设置有支撑块；所述杠杆下表面设置有弧形凸起；所述壳体设置有凸块；所述凸块与所述杠杆之间设置有转动件；所述杠杆中部设置有压缩弹簧；所述杠杆左端与安装座连接；所述安装座上安装有探针。特色与优势：速度快、工作稳定。
主权项：1.一种单压电叠堆驱动的高速探针装置，其特征是：从内到外依次设置有压电叠堆、杠杆、壳体、安装座、探针；所述压电叠堆两端分别固定连接有上接块和下接块；所述下接块配套设置有支撑块；所述下接块与支撑块接触处为球面且可滑动；所述支撑块与壳体固定连接；所述杠杆设置有弧形凸起；所述上接块顶部配套所述弧形凸起设置有第三凹面；所述弧形凸起与上接块在第三凹面处滑动接触，且所述弧形凸起与所述上接块之间构成转动副；所述壳体连接有凸块；所述凸块与所述杠杆之间设置有转动件；所述凸块配套所述转动件设置有第一凹面，所述杠杆配套所述转动件安装设置有第二凹面；所述转动件结合第一凹面和第二凹面安装构成所述杠杆与所述壳体的转动副；所述杠杆中部设置有压缩弹簧；所述压缩弹簧一端与杠杆连接、另一端与壳体连接；所述压缩弹簧施加在杠杆的力方向与所述压电叠堆施加在杠杆的力方向相反；所述杠杆端部与安装座连接；所述安装座上安装有探针；所述壳体配套探针设置有通孔；所述弧形凸起位于所述转动件与所述压缩弹簧之间；所述转动件与所述弧形凸起的水平中心距离为L1,所述转动件与所述压缩弹簧的水平中心距离为L2,且。
全文数据：
权利要求：
百度查询： 浙江师范大学 一种单压电叠堆驱动的高速探针装置
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