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申请/专利权人：罗伯特·博世有限公司
摘要：本发明涉及一种膜传感器500，其包括：压力传感器180，该压力传感器构造用于，根据能以压力加载的膜140的偏转产生第一传感器信号1100；加速度传感器200，该加速度传感器构造用于，根据作用到MEMS功能结构290上的加速度产生第二传感器信号1200；和评估电路600，所述评估电路构造用于，根据第二传感器信号1200补偿第一传感器信号110与作用到所述膜140上的加速力尤其是重力的相关性。所述压力传感器180和所述加速度传感器200在z方向1000上上下堆叠。本发明还涉及一种用于借助于这类膜传感器500产生经补偿的传感器信号1300的方法。
主权项：1.一种膜传感器500，其包括：-压力传感器180，所述压力传感器构造用于，根据能以压力加载的膜140的偏移产生第一传感器信号1100；-加速度传感器200，所述加速度传感器构造用于，根据作用到MEMS功能结构290上的加速度产生第二传感器信号1200；和-评估电路600，所述评估电路构造用于，根据所述第二传感器信号1200补偿所述第一传感器信号1100与作用到所述膜140上的加速力、尤其是重力的相关性，其中，所述压力传感器180和所述加速度传感器200在z方向1000上下堆叠。
全文数据：
权利要求：
百度查询： 罗伯特·博世有限公司 用于补偿加速度的膜传感器和用于产生经补偿的传感器信号的方法
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