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申请/专利权人：深圳飞世尔新材料股份有限公司;惠州市飞世尔实业有限公司
摘要：本申请涉及电子材料领域，具体公开了一种高效无损干膜去膜液及其制备方法，干膜去膜液包括以下重量份原料：50‑70份水、0.5‑1.5份消泡剂、10‑20份有机溶剂、5‑13份表面活性剂、5‑10份聚乙烯亚胺、3‑5份PAMAM、1‑3份缓蚀剂、3‑5份烷基酰胺和15‑20份有机碱；其制备方法包括以下步骤：按照配比将表面活性剂与水混合，然后加入有机溶剂、有机碱、聚乙烯亚胺、PAMAM、烷基酰胺进行混合，最后加入缓蚀剂和消泡剂进行混合，制得干膜去膜液。本申请具有制得的干膜去膜液能够高效去除干膜的有机去膜液，而且对于铟锡氧化物导电膜和铜基材没有腐蚀损伤。
主权项：1.一种高效无损干膜去膜液，其特征在于，包括以下重量份原料：50-70份水、0.5-1.5份消泡剂、10-20份有机溶剂、5-13份表面活性剂、5-10份聚乙烯亚胺、3-5份PAMAM、1-3份缓蚀剂、3-5份烷基酰胺和15-20份有机碱。
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权利要求：
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