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申请/专利权人:上海积塔半导体有限公司
摘要:本实用新型提供了一种尾气处理器,所述尾气处理器包括主进气管路、主出气管路、应急管路、第一吹扫管路、第二吹扫管路、主吸附桶和应急吸附桶。主进气管路上设置主进气口和主进气阀门,主出气管路上设有主出气口,应急管路的进气端连接主进气管路、并位于主进气口与主进气阀门之间,应急管路的出气端连接至主出气管路,应急管路的进气端还设有应急进气阀门,第一吹扫管路连接至主进气管路并位于主进气口与应急管路之间,第二吹扫管路连接至主进气管路并位于主进气阀门远离主进气口的一侧,主进气管路上设有主吸附桶,应急管路上设有应急吸附桶。通过给应急吸附桶和主吸附桶分别设置不同管路的吹扫气体,降低主吸附桶中的有害物质残留,提升安全性。
主权项:1.一种尾气处理器,其特征在于,包括:主进气管路,所述主进气管路上设置有主进气口,所述主进气管路用于通过所述主进气口接收待处理废气,所述主进气管路上还设置有主进气阀门;主出气管路,所述主出气管路上设置有主出气口,所述主出气管路用于通过所述主出气口排出所述尾气处理器中的气体;应急管路,所述应急管路的进气端连接至所述主进气管路、并位于所述主进气口与所述主进气阀门之间,所述应急管路的出气端连接至所述主出气管路,所述应急管路的进气端处还设置有应急进气阀门;第一吹扫管路,连接至所述主进气管路,并位于所述主进气口与所述应急管路之间,所述第一吹扫管路用于输送第一吹扫气体;第二吹扫管路,连接至所述主进气管路、并位于所述主进气阀门远离所述主进气口的一侧,所述第二吹扫管路用于在所述主进气阀门关闭以及所述应急进气阀门开启时输送第二吹扫气体;主吸附桶,设置于所述主进气管路上、并位于所述主进气阀门远离所述主进气口一侧,所述主吸附桶用于在所述主进气阀门开启以及所述应急进气阀门关闭时接收所述第一吹扫气体并吸附所述废气中的有害物质,以及在所述主进气阀门关闭以及所述应急进气阀门开启时接收所述第二吹扫气体;应急吸附桶,设置于所述应急管路上、并位于所述应急进气阀门远离所述主进气口一侧,所述应急吸附桶用于在所述主进气阀门关闭以及所述应急进气阀门开启时接收所述第一吹扫气体并吸附所述废气中的有害物质。
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百度查询: 上海积塔半导体有限公司 尾气处理器
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