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一种五氟化磷发生器氟化氢投料装置 

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申请/专利权人:江苏泰际材料科技有限公司

摘要:本实用新型公开了一种五氟化磷发生器氟化氢投料装置,包括氟化氢进液口、输送泵、调节阀、流量计、氟化氢出液口,所述氟化氢进液口连接至所述输送泵进口,所述输送泵出口连接至所述调节阀一端,所述调节阀另一端连接至所述流量计一端,所述流量计另一端连接至所述氟化氢出液口,所述氟化氢进液口连接至氟化氢中间罐,所述氟化氢出液口连接至五氟化磷发生器。本实用新型通过流量计来确认氟化氢投入的量,通过调节阀来控制氟化氢投入反应器内的速度,能够提高产品的质量和稳定性。

主权项:1.一种五氟化磷发生器氟化氢投料装置,其特征在于,包括氟化氢进液口、输送泵、调节阀、流量计、氟化氢出液口,所述氟化氢进液口连接至所述输送泵进口,所述输送泵出口连接至所述调节阀一端,所述调节阀另一端连接至所述流量计一端,所述流量计另一端连接至所述氟化氢出液口,所述氟化氢进液口连接至氟化氢中间罐,所述氟化氢出液口连接至五氟化磷发生器。

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权利要求:

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