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申请/专利权人：南亚科技股份有限公司
摘要：一种测量机台包含光学桌、显微镜、开发板以及两探针。显微镜位于光学桌上方。开发板位于光学桌上且位于显微镜的镜头下，配置以电性连接半导体芯片及提供半导体芯片检查信号，其中半导体芯片定位于显微镜的镜头的正下方。两探针位于光学桌上方，两探针配置以分别接触半导体芯片的两内部接点。由于使用了光学桌跟开发板，因此大幅度减小了测试用机台的体积，也减少了其成本。由于可根据显微镜取得的影像来定位探针，再使用探针直接测量信号，因此仅需调整显微镜与半导体芯片之间的相对位置便可获取清晰影像。如此一来，显微镜与半导体芯片并不需要在平行光学桌桌面的方向移动，操作方式简单，测试的可重复性高，且测试的弹性也增加。
主权项：1.一种测量机台，其特征在于，包含：光学桌；显微镜，位于该光学桌上方；开发板，位于该光学桌上且位于该显微镜的镜头下，配置以电性连接半导体芯片及提供该半导体芯片检查信号，其中该半导体芯片定位于该显微镜的该镜头的正下方；以及两探针，位于该光学桌上方，且配置以分别接触该半导体芯片的两内部接点。
全文数据：
权利要求：
百度查询： 南亚科技股份有限公司 测量机台与半导体芯片的故障侦测方法
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