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申请/专利权人：株式会社斯库林集团

摘要：一种基板处理装置，具有控制装置，所述控制装置通过控制旋转马达来使从动部与可动夹具一起以基板的旋转轴线为中心旋转，并且通过控制罩升降单元来使驱动部与防溅罩一起沿铅垂方向移动。从动部及驱动部在相互离开的状态下，沿水平或铅垂的相对向方向相对。之后，从动部及驱动部相互接触，驱动部沿相对方向按压从动部。由此，使可动夹具配置于打开位置。之后，从动部及驱动部相互离开。可动夹具利用螺旋弹簧的力向关闭位置的方向返回。

主权项：1.一种基板处理装置，其中，具有：多个夹具构件，包括可动夹具，该可动夹具能够在按压基板的外周部的关闭位置与解除对所述基板的外周部的按压的打开位置之间以铅垂的夹具转动轴线为中心转动，随着所述可动夹具的移动，所述多个夹具构件在将所述基板把持为水平的关闭状态与所述基板的把持被解除的打开状态之间切换；旋转马达，产生通过使所述多个夹具构件以通过由所述多个夹具构件把持的所述基板的中央部的铅垂的旋转轴线为中心旋转而使所述基板以所述旋转轴线为中心旋转的动力；旋转基座，配置于由所述多个夹具构件把持的所述基板的下方，将所述旋转马达的动力传递至所述多个夹具构件；处理流体供给单元，使处理由所述多个夹具构件把持的所述基板的处理流体向所述基板的上表面及下表面中的至少一方供给；发热构件，配置于由所述多个夹具构件把持的所述基板与所述旋转基座之间；筒状的防溅罩，在俯视时围绕所述旋转轴线包围所述多个夹具构件；罩升降单元，使所述防溅罩沿铅垂方向移动；把持力产生构件，产生使所述可动夹具向所述关闭位置的方向移动的力；从动部，包括相比所述可动夹具更靠外侧的外端，所述从动部与所述可动夹具一起以所述夹具转动轴线为中心转动，与所述可动夹具一起以所述旋转轴线为中心旋转；驱动部，包括相比所述从动部的外端更靠内侧的内端，所述驱动部与所述防溅罩一起沿铅垂方向移动；以及控制装置，通过控制所述旋转马达，使所述从动部与所述可动夹具一起以所述旋转轴线为中心旋转，通过控制所述罩升降单元，使所述驱动部与所述防溅罩一起沿铅垂方向移动，所述可动夹具具有：把持部，按压所述基板的外周部；以及支撑部，包括从所述把持部朝向所述旋转轴线向斜下方延伸的倾斜面，所述支撑部能够从下方支撑所述基板，所述控制装置执行：准备步骤，通过使所述从动部及所述驱动部中的至少一方移动，在所述从动部及所述驱动部相互离开的状态下，使所述从动部及所述驱动部在水平的相对方向上相对；解除步骤，在所述准备步骤之后，通过使所述从动部及所述驱动部沿所述相对方向相对地移动，使所述从动部及所述驱动部相互接触，并使所述驱动部按压所述从动部直至所述可动夹具到达所述打开位置；以及把持步骤，在所述解除步骤之后，使所述从动部及所述驱动部相互分离，并通过所述把持力产生构件使所述可动夹具向所述关闭位置的方向移动。

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