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申请/专利权人：河南平原光电有限公司
摘要：本发明属于光学薄膜制备技术领域，涉及一种非均匀光学材料表面反射低损耗膜系制备方法，包括确定光学材料折射率分布公式；选择膜系材料；设计膜系厚度；计算不同波长时，膜系与空气组合的光学导纳分布；计算掩膜板尺寸；制备膜系和测定膜系光谱曲线等步骤。与现有技术相比，本发明具有工艺简单，操作方便、易于推广的优点，且通过在非均匀光学材料表面真空镀制反射低损耗膜系，实现在所利用光谱波长能量的超低反射损耗，从而针对性的解决了非均匀光学材料表面反射率偏高，其性能影响集成器件信噪比、杂散光、成像对比度等，不能满足高、精、尖集成光电器件中信号传输使用要求的问题。
主权项：1.一种非均匀光学材料表面反射低损耗膜系制备方法，其特征在于：包括如下步骤：S1、确定光学材料折射率分布公式；S2、选择膜系材料；S3、设计膜系厚度；S4、计算不同波长时，膜系与空气组合的光学导纳分布；S5、计算掩膜板尺寸；S6、制备膜系；S7、测定膜系光谱曲线。
全文数据：
权利要求：
百度查询： 河南平原光电有限公司 一种非均匀光学材料表面反射低损耗膜系制备方法
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