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申请/专利权人：因士(上海)科技有限公司;江苏因士环保科技有限公司
摘要：本发明属于传感器技术领域，具体涉及一种滴涂式气敏传感器及其制备方法。本发明另辟蹊径，从传感器的电极图案角度出发，电极为叉指电极或平行电极，在基板表面设置有圆型凸环，通过边缘限制效应控制滴涂后的液滴形状，引导液滴在其内部形成相同的规则圆形图案，从而实现滴涂式气敏传感器良好的一致性、稳定性和气敏性能，长期运行可靠。本发明提供的方法有效提高了滴涂式气敏传感器的一致性，本发明对基板进行疏水表面处理，然后在基板上制备圆型凸环，控制参数少，步骤简单，有利于将传感器的电阻误差控制在很小，减少了制备过程中的不均匀性，大大提高了良品率，后期不需要对每个传感器再单独进行校准。
主权项：1.一种滴涂式气敏传感器，其特征在于，包括基板4；所述基板4表面设置有圆型凸环1；所述圆型凸环1中间从下到上依次设置有电极2和气敏涂层101；所述电极2为叉指电极或平行电极；所述电极2表面设置有穿孔3；所述基板4的疏水角度大于90°且小于150°。
全文数据：
权利要求：
百度查询： 因士(上海)科技有限公司 江苏因士环保科技有限公司 一种滴涂式气敏传感器及其制备方法
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