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申请/专利权人：巴川集团股份有限公司
摘要：本发明的静电卡盘装置（1）具备：多个内部电极（20）；绝缘性有机膜（40），设置于内部电极（20）的厚度方向上的两面侧；以及陶瓷层（60），隔着中间层（50）层叠于至少包括内部电极（20）和绝缘性有机膜（40）的层叠体（2）的厚度方向上的上表面（2a）。
主权项：1.一种静电卡盘装置，其特征在于，具备：多个内部电极；绝缘性有机膜，设置于该内部电极的厚度方向上的两面侧；以及陶瓷层，隔着中间层层叠于至少包括所述内部电极和所述绝缘性有机膜的层叠体的厚度方向上的上表面，所述中间层中含有聚硅氮烷。
全文数据：
权利要求：
百度查询： 巴川集团股份有限公司 静电卡盘装置
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