龙图腾网&IPTOP
- 微信扫码登录
- 账号密码登录
- 短信登录/注册
买专利卖专利找龙图腾，真高效！ 查专利查商标用IPTOP,全免费！专利年费监控用IP管家,真方便！
申请/专利权人：株式会社斯库林集团
摘要：在基板处理装置中，利用多个搬送装置在预先设定的搬送路径上从起点朝向终点搬送收纳多个基板的载体。在设置于搬送路径的一部分的处理部中，利用液处理单元对收纳于载体的多个基板进行预先设定的处理。在搬送路径设置有在铅垂姿势与水平姿势之间变更载体的姿势的姿势变更部。姿势变更部以在处理部中以铅垂姿势维持载体、且在除处理部外的部分以水平姿势维持载体的方式，变更载体的姿势。
主权项：1.一种基板处理装置，其特征在于，具备：载体，其构成为能够收纳多个基板；搬送机构，其在预先设定的搬送路径上，向预先设定的一个搬送方向搬送上述载体；处理单元，其设置于上述搬送路径中的预先设定的处理部分上，在多个基板收纳于上述载体的状态下，对收纳于该载体的多个基板进行预先设定的处理；以及姿势变更部，其使上述载体的姿势在能够以铅垂姿势收纳多个基板的第一姿势和能够以水平姿势收纳多个基板的第二姿势之间变更，上述姿势变更部，以在上述搬送路径中的上述处理部分上述载体的姿势维持上述第一姿势的方式，并且以在多个基板收纳于上述载体的状态下在上述搬送路径中的除上述处理部分以外的非处理部分的至少一部分中上述载体的姿势维持上述第二姿势的方式，设置于上述搬送路径上。
全文数据：
权利要求：
免责声明
1、本报告根据公开、合法渠道获得相关数据和信息，力求客观、公正，但并不保证数据的最终完整性和准确性。
2、报告中的分析和结论仅反映本公司于发布本报告当日的职业理解，仅供参考使用，不能作为本公司承担任何法律责任的依据或者凭证。
主营中国专利交易买卖与专利转让许可,高校科技成果推广与科技成果转化,知识产权运营管理与平台开发,科技人才专家库与科技猎头等科技服务
开放平台
担保交易
惠及多方
会员特惠
专属平台
适合多方
数据共享
功能齐全
皖公网安备 34010402703815号