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申请/专利权人：广州赛隆增材制造有限责任公司
摘要：本发明公开了一种宽幅域扫描用电子束的自动校正方法、装置、设备及介质，该方法包括：控制电子束以标定板上的当前标定物为起点，以预设偏转速度扫描预设距离，其中，所述预设距离为标定物间距；根据当前标定物的下一标定物的位置和电子束的当前位置，进行偏转像差校正；根据电子束的当前亮度，进行聚焦校正；重复上述步骤，直至完成对标定板上全部标定物的偏转像差校正和聚焦校正。本发明的技术方案，能够实现宽幅域扫描用电子束的自动偏转像差校正和自动聚焦校正，提高了校正精度。
主权项：1.一种宽幅域扫描用电子束的自动校正方法，其特征在于，包括：控制电子束以标定板上的当前标定物为起点，以预设偏转速度扫描预设距离，其中，所述预设距离为标定物间距；根据当前标定物的下一标定物的位置和电子束的当前位置，进行偏转像差校正；根据电子束的当前亮度，进行聚焦校正；重复上述步骤，直至完成对标定板上全部标定物的偏转像差校正和聚焦校正。
全文数据：
权利要求：
百度查询： 广州赛隆增材制造有限责任公司 宽幅域扫描用电子束的自动校正方法、装置、设备及介质
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