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申请/专利权人：波斯科曼技术公司

摘要：提供一种加压烧结方法及设备，加压烧结方法及设备用于通过在加压烧结时间间隔过程中在烧结压力及烧结温度下进行加压烧结而将组件附接至基板，其间具有烧结材料。加压烧结设备包含第一工具部分及第二工具部分，第二工具部分经配置来保持基板，且第一工具部分及第二工具部分经布置成可相对于彼此在打开配置与关闭配置之间移动，打开配置用于在第一工具部分与第二工具部分之间接收组件及基板，关闭配置用于将组件及基板保持在第一工具部分与第二工具部分之间且与第一工具部分及第二工具部分接触，其中烧结材料位于组件与基板之间且与组件及基板接触以向组件、烧结材料及基板施加烧结压力。

主权项：1.一种加压烧结方法，所述加压烧结方法用于通过在所述烧结材料的加压烧结时间间隔过程中在烧结压力及烧结温度下进行加压烧结以在加压烧结之后提供基板140与组件130之间的烧结结合而将所述组件附接至所述基板，其间具有烧结材料150，其中所述方法包含以下步骤提供加压烧结设备，所述加压烧结设备包含第一工具部分110及第二工具部分120，所述第二工具部分经配置来保持所述基板140，且所述第一工具部分110及所述第二工具部分120经配置及布置成能够相对于彼此在打开配置与关闭配置之间移动，所述打开配置用于在所述第一工具部分与所述第二工具部分之间接收所述组件130及所述基板140，所述关闭配置用于将所述组件及所述基板保持在所述第一工具部分与所述第二工具部分之间且与所述第一工具部分及所述第二工具部分接触，其中所述烧结材料150位于所述组件与所述基板之间且与所述组件及所述基板接触以向所述组件、所述烧结材料及所述基板施加所述烧结压力，且在所述加压烧结时间间隔过程中在所述烧结温度下加热所述组件、所述烧结材料及所述基板；将所述第一工具部分110及所述第二工具部分120加热至所述烧结温度；将所述基板提供到已被加热至所述烧结温度的所述第二工具部分上，其中没有烧结材料已被施加到所述基板，且在所述第一工具部分及所述第二工具部分的所述打开配置中在所述第二工具部分上将所述基板140加热至所述烧结温度；将上面具有所述基板的所述第一工具部分及所述第二工具部分维持在所述烧结温度；将烧结材料施加到所述组件上；将上面施加有所述烧结材料的所述组件预热至低于所述烧结温度的组件预热温度；随后，在所述第一工具部分与保持在处于所述第一工具部分及所述第二工具部分的所述打开配置的所述第二工具部分上的所述基板之间提供所述烧结材料被施加在上面且被预热至所述组件预热温度的所述组件，其中施加在所述组件上的所述烧结材料面向所述基板；随后，使处于所述关闭配置的所述第一工具部分及所述第二工具部分使所述组件及所述基板保持在所述第一工具部分与所述第二工具部分之间且与所述第一工具部分及所述第二工具部分接触以向所述组件、所述烧结材料及所述基板施加烧结压力且在所述加压烧结时间间隔过程中在所述烧结温度下加热所述组件、所述烧结材料及所述基板，其中所述烧结材料150位于所述组件与所述基板之间且与所述组件及所述基板接触；及随后，使所述第一工具部分及所述第二工具部分处于所述打开配置且自所述第二工具部分移除具有所述附接组件的所述基板。

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权利要求：

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