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申请/专利权人：中国电子科技集团公司第四十八研究所
摘要：本发明公开了一种可变成形束电子束曝光设备控制系统及图形控制方法，系统包括数据处理群集、高速图形发生器和PLC系统；所述数据处理群集作为图形计算核心，通过第一通信总线与图形发生器和PLC系统相连，并通过第二通信总线与图形发生器相连；所述PLC系统与低速控制部件相连；所述图形发生器与电子束校正模块和电子束偏转模块相连。本发明能够满足可变成形电子束曝光设备对图形数据超大吞吐量、超高实时性、超高精度的控制要求。
主权项：1.一种可变成形束电子束曝光设备控制系统，其特征在于，包括数据处理群集、高速图形发生器和PLC系统；所述数据处理群集作为图形计算核心，通过第一通信总线与图形发生器和PLC系统相连，并通过第二通信总线与图形发生器相连；所述PLC系统与低速控制部件相连；所述图形发生器与电子束校正模块和电子束偏转模块相连。
全文数据：
权利要求：
百度查询： 中国电子科技集团公司第四十八研究所 一种可变成形束电子束曝光设备控制系统及图形控制方法
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