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申请/专利权人：中国科学技术大学
摘要：本申请公开了一种声波谐振器、声波谐振器的制备方法和电子设备，该声波谐振器，包括：衬底、压电层和至少两个叉指电极；所述压电层，设置于所述衬底的表面，且所述压电层和所述衬底接触的一侧或背离所述衬底的一侧设置多个凹槽，所述多个凹槽的深度均小于所述压电层的厚度，所述凹槽的数量与所述叉指电极的数量相同，所述多个凹槽中的每个凹槽内设置一个叉指电极。如此，叉指电极更深入压电层的内部，使得激发的声波的振动模态可以更趋近于体波，即在整个介质内部传播。因此，在提高频率的过程中，无需改变叉指电极的尺寸，使得叉指电极的电阻不被增大，从而避免声波谐振器的品质因数降低，实现了高品质的声波谐振器。
主权项：1.一种声波谐振器，其特征在于，包括：衬底、压电层和至少两个叉指电极；所述压电层，设置于所述衬底的表面，且所述压电层和所述衬底接触的一侧或背离所述衬底的一侧设置多个凹槽，所述多个凹槽的深度均小于所述压电层的厚度，所述凹槽的数量与所述叉指电极的数量相同，所述多个凹槽中的每个凹槽内设置一个叉指电极。
全文数据：
权利要求：
百度查询： 中国科学技术大学 一种声波谐振器、声波谐振器的制备方法和电子设备
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